项目

仪器

要求

项目

仪器/方法

要求

周期

环境

/

温湿度

温湿度表

>30%Rh<70%

每日

20℃ ~ 28℃

接地及等电位连接

接地体电阻

摇表

<4Ω

工作台/货架接地线连接

目测

/

每日自检

接地体电阻

摇表

<4Ω

半年

设备接地连接

万用表

<1Ω

设备接地连接

万用表

<1Ω

每月

辅助接地与交流地间电阻

万用表

<25Ω

辅助接地与交流地间电阻

万用表

<25Ω

半年

交流设备接地电阻

交流阻抗仪

<1Ω

交流设备接地电阻

交流阻抗仪

<1Ω

半年

共同接地点到接地母线电阻

万用表

<1Ω

共同接地点到接地母线电阻

万用表

<1Ω

每月

等电位连接

兆欧表

<10⁹Ω

等电位连接

兆欧表

<10⁹Ω

每月

人员装备

/

装备是否达到要求

目测

/

每次进入车间

综合阻值（防静电鞋的对地电阻）

人体综合阻值测试仪

0.75~100MΩ

手腕带对地电阻

综合阻值仪/腕带测量仪

0.75~10MΩ

地面/地垫

对地电阻

兆欧表

10⁵~10⁹

对地电阻

兆欧表

<10⁹Ω

每月

点对点电阻

兆欧表

10⁵~10⁹

点对点电阻

兆欧表

<10⁹Ω

接地连接

目视检查

连接牢固

每月

防静电工衣

袖对袖电阻

兆欧表

1х10⁵Ω~1х10¹¹Ω

袖对袖电阻

兆欧表

1х10⁵Ω~1х10¹¹Ω

每季度

布片间点对点电阻

兆欧表

1х10⁵Ω~1х10¹¹Ω

布片间点对点电阻

兆欧表

1х10⁵Ω~1х10¹¹Ω

摩擦电压

静电电压仪

<100V

/

/

/

手腕带

连接线电阻

万用表

1MΩ±20%

见人员装备

/

内侧电阻

兆欧表

<10⁵Ω

外侧电阻

兆欧表

>10⁷Ω

连接线寿命

供应商保证

>16000次

手套/手指套

表面电阻

表面阻值仪

≤1х10¹²Ω

佩戴后系统电阻

兆欧表

7.5х10⁵~1х10¹²Ω

每月抽检

防静电鞋

体积电阻

兆欧表

<10⁹Ω

见人员装备

防静电元件盒/防静电箱

表面电阻

表面阻值仪

<1х10⁹Ω

表面电阻

表面阻值仪

<1х10⁹Ω

每月抽检

摩擦电压

静电电压仪

<100V

摩擦电压

静电电压仪

<100V

防静电吸塑盘、气泡片等

表面电阻

表面阻值仪

10⁵Ω≤Ω≤10⁹Ω

表面电阻

表面阻值仪

10⁵Ω≤Ω≤10⁹Ω

每月抽检

摩擦电压

静电电压仪

<100V

摩擦电压

静电电压仪

<100V

屏蔽袋

屏蔽性能

屏蔽测量仪/供应商保证

<50nJ

/

/

内侧表面电阻

表面阻值仪

1х10⁵Ω~1х10¹¹Ω

防静电椅

对地电阻

兆欧表

<1х10⁹Ω

对地电阻

兆欧表

<1х10⁹Ω

每季度

防静电工作台/台垫

点对点电阻

兆欧表

10⁵Ω≤Ω≤10⁹Ω

点对点电阻

兆欧表

<10⁹Ω

每月

消电性

供应商

<100V

接地电阻

兆欧表

<10⁹Ω

每月

电烙铁

接地电阻

万用表

<1Ω

接地电阻

万用表

1~20Ω

每月

电池做动力和气体做动力的手持工具

/

/

/

对地电阻

兆欧表

<1х10¹²Ω

每月

EPA标识

/

是否完好

目视

/

每月

显示器

/

静电场

静电电压仪

<100V

每季度

离子风机

偏置电压

CPM/SIMCO F003

<±35V

偏置电压

CPM/SIMCO F003

<±35V

每季度

耗散时间

CPM/供应商保证

<10S

耗散时间

<10S

推车及移动料架

台垫表面电阻

表面阻值仪

10⁵Ω≤Ω≤10⁹Ω

接地链

目测

/

每日

对地电阻

兆欧表

<1х10⁹Ω

台垫表面电阻

表面阻值仪

10⁵Ω≤Ω≤10⁹Ω

每月

对地电阻

兆欧表

<1х10⁹Ω

每月